CAMERA PULITA PERUGIA
Informazioni tecniche
La camera pulita è un laboratorio dell’INFN situato nel dipartimento di Fisica dell’università di Perugia.
E’ composta da due unità adiacenti: la camera pulita “A” e la camera pulita “B”, collegate fra di loro tramite una porta automatica.
Questa configurazione permette di operare alle due unità sia in maniera indipendente (diverse impostazioni di temperatura ed umidità) sia come un ambiente unico, a seconda delle esigenze specifiche.
| CAMERA PULITA A | CAMERA PULITA B | |
| Classe di purezza: | ISO 7 (FED 209D M 5,5) | ISO 7 (FED 209D M 5,5) |
| Intervallo di temperatura: | ± 1°C | ± 1°C |
| Intervallo di umidità: | ± 5% | ± 5% |
| Flusso laminare: | ISO 5; 4-dim 120×60 cm |
Attrezzature della camerapultia
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- PA 200
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- Ladder
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- Mitutoyo BHN506
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- Mitutoyo 776
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- Kapton Test Station
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- Camalot
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- Forno
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- Silicon Survey
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- Bilancia
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- Bonding Delvotec
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- Cappa
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- Gantry
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- Kulicke Soffa
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- Microscopi
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- Sigillatrice vuoto
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- Strumenti Keithley
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- Vasca ultrasuoni
Documenti
Norme generali
- Autorizzazione_675-96_Vers1
- Dichiarazione_Sicurezza
- Norme_comportamentali_Camera_Bianca
- Norme_di_sicurezza_e_comportamentali_Camera_Bianca
Schede sicurezza prodotti usati nelle camere bianche:
Schede sicurezza per sanificazione condizionatori:
Links utili
